サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、イオン注入装置の位置決め部品に採用されました。
液晶用のイオン注入装置のカバーに、住友化学(株)のPES(ポリエーテルサルフォン)4100Gが採用されました。
液晶用イオン注入装置の真空チャンバー内で使用するに、サンゴバン(株)のポリイミド MELDIN(メルディン)7001が採用されました。
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