サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、ベーキング工程で使用されるウエハガイドに採用されました。
AZエレクトロニックマテリアルズ(株)のPBI樹脂(セラゾール)が、ウエハー搬送関連のガイドに採用されています。
帝人化成(株)の耐摩耗性樹脂PBN(ポリブチレンナフタレート)が、ウエハーのガイドに、評価用として採用されました。
帝人化成のPBN(ポリブチレンナフタレート)樹脂が、半導体前工程で使用されるガイドに採用されました。
半導体検査装置のガイド部品に、サンゴバン(株)のポリイミド MELDIN(メルディン)7001が採用されました。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報