PEEK（ピーク）の採用事例をご紹介：耐熱性の活用

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PEEK ポリエーテル・エーテル・ケトン Poly Ether Ether Ketone（PEEK/ピークはVictrex plc.の商標です）

採用事例

クリーン性

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2008/06/10
PCTFEの代替えで、PEEK樹脂採用

ガラス製造の工程で使用される部品に、PCTFEの代替えで、ビクトレックス社ののPEEK樹脂が採用されました。

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2008/03/14
チップの検査装置にPEEK樹脂（ピーク）採用

半導体製造後工程でのチップの検査装置のセンサー部分に使用される部品に、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が採用されました。

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2008/02/06
搬送工程の部品にPEEK樹脂採用

搬送工程でのガイド部品に、ビクトレックス社の耐摩耗性に優れるPEEK樹脂（ピーク）が採用れています。

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2008/02/04
カラーにPEEK樹脂採用

ウエハーのテスト時に使用するカラーに、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が採用されました。

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2007/11/05
ポンプの軸受けにPEEK樹脂採用

半導体製造設備で使用されるポンプの軸受けに、ビクトレックス社の摺動性に優れるPEEK樹脂（ピーク）が、採用されました。

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2007/10/31
ウエハー保持部品に、PEEK樹脂採用

半導体製造装置のウエハーの保持部品に、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が試作品として採用されました。

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2007/10/18
組立用治具にPEEK樹脂採用

電子部品の組立用治具に、ビクトレックス社の耐摩耗性に優れるPEEK樹脂（ピーク）が採用されています。

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2007/08/27
PEEK樹脂製吸着チャック本採用

金属製からPEEK樹脂に材質変更し、評価が行われていましたウエハーの吸着チャックが、本採用となりました。

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2007/06/29
フィルターにPEEK樹脂採用

ウエハーキャリアのパーティクル対策用フィルターに、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が評価採用されました。

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2007/05/14
吸着チャックにPEEK樹脂採用

ウエハの吸着式チャックに、ビクトレックス社の高機能性樹脂ピーク（PEEK樹脂）が採用され、現在評価中です。

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2007/04/27
洗浄トレイに、PEEK樹脂採用

電子部品の洗浄用トレイに、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が採用されました。

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2006/10/27
スパッタリング装置のスペーサーにPEEK樹脂採用

LCDのスパッタリング装置内の開閉部分のスペーサーに、ビクトレックス社のPEEK （ピーク）樹脂が採用されました。

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2005/08/30
洗浄装置のノズルにPEEK （ピ－ク）絞り加工が採用

半導体洗浄装置のノズルにPEEK450Gの絞り加工が採用されました。

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