FPD業界での提案事例
クリーン性
- 2008/07/03
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PBI樹脂セラゾールが基板の受け部品に採用
AZエレクトロニックマテリアルズ（株）のPBI樹脂（セラゾール）が、カラーフィルター製造工程で使用する基板の受け部品に採用されました。
- 2007/08/23
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スパッタ装置の押さえ部品にポリイミド樹脂採用
サンゴバン（株）のポリイミド樹脂メルディン（MELDIN）が、基板の押さえ部品に採用されています。
- 2007/08/02
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ポリイミド樹脂（メルディン）がスパッタ装置に採用
サンゴバンのポリイミド樹脂メルディン（MELDIN）が、LCDのスパッタ装置の基板押さえ部品に採用されました。
- 2007/01/10
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PBN樹脂がガイドに採用
帝人化成（株）の耐摩耗性樹脂PBNが、液晶ガラス基板加工メーカーで、ガイドに採用されました。
- 2006/10/27
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PEEK樹脂が、スパッタリング装置の緩衝部品に採用
ビクトレックス社のPEEK樹脂が、スパッタリング装置の緩衝吸収用スペーサーに採用されました。
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CVD装置 PVD装置関連 イオン注入装置関連 エッチング装置関連 カラーフィルター関連 ガラス基板関連 検査装置関連 コーター装置関連 焼成装置関連 スパッタ装置関連 成膜装置関連 その他装置関連 レジスト塗布装置 露光装置関連
仙台支店・仙台工場、東京本店（東京支店）、神奈川支店、名古屋支店、滋賀支店・滋賀工場、
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