半導体業界での提案事例
コレット
- 2008/01/30
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吸着コレットにポリイミド樹脂微細加工品採用
サンゴバン（株）のポリイミド樹脂メルディンが、微細加工対応での吸着コレットに採用されました。
- 2007/10/05
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ポリイミド樹脂（グラファイト入）が、吸着コレットに採用
サンゴバン（株）のポリイミド樹脂メルディン7021（グラファイト入）が、他のポリイミド樹脂の吸着コレットの代替として、評価をおこなっていただいています。
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エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報
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