ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、製造工程の薬液塗布の装置に使用する保持部品に、評価用として採用されました。
住友化学(株)の全芳香族ポリエステル樹脂スミカスーパーS1000が、後工程でのチップの搬送治具に採用されました。
帝人化成(株)の摩耗性に優れるPBN樹脂(ポリブチレンナフタレート)が、ウエハー搬送の装置に使用するスペーサに採用されました。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報