半導体業界での提案事例

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採用事例

チャック

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2007/08/27
金属からの代替えPEEK樹脂チャック本採用

金属製からPEEK樹脂に材質変更し、評価が行われていましたウエハーの吸着チャックが、本採用となりました。

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2007/05/14
PEEK樹脂が、ウエハの吸着チャックに採用

ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が、ウエハの吸着チャックに、採用され、現在評価が進んでいます。

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