サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン(MELDIN)が、半導体製造装置のボルトに、継続的に使用されています。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、エッチング工程の装置で使用されるネジに、採用されています。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、前工程の製造装置で使用するネジに評価採用されています。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、チャンバーで使用するネジに、他のポリイミド樹脂の代替として、評価採用されています。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂MELDIN(メルディン)が、半導体製造装置(前工程)で使用する部品(ビス)に従来のポリイミドの代替用として評価採用されています。
AzエレクトリックマテリアルズのPBI樹脂(セラゾール)が、半導体製造装置で使用する絶縁ビスに評価採用されました。
サンゴバン(株)の全芳香族ポリイミド MELDIN(メルディン)が、エッチャーの部品に採用されました。
エッチング装置で使用されるビスに、サンゴバン(株)のポリイミド MELDIN(メルディン)7001が採用されました。
ドライエッチャーのチャンバー内で使用されるネジに、サンゴバン(株)のポリイミド MELDIN(メルディン)7001が採用されました。
ドライエッチング装置の真空チャンバー内で使用する部品にMELDIN7001が採用になりました。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報