金属製からPEEK樹脂に材質変更し、評価が行われていましたウエハーの吸着チャックが、本採用となりました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ウエハの吸着チャックに、採用され、現在評価が進んでいます。
住友化学のスミプロイCK4600(炭素繊維強化PEEK)が、ウエハーを保持する部品に採用されました。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報