金属製からPEEK樹脂に材質変更し、評価が行われていましたウエハーの吸着チャックが、本採用となりました。
ウエハの吸着式チャックに、ビクトレックス社の高機能性樹脂ピーク(PEEK樹脂)が採用され、現在評価中です。
燃料電池開発用の治具に、弊社のポリッシング加工をおこなったPEEK(ピーク)樹脂の加工品が採用されています。
半導体製造装置で使用するウエハーチャックに、住友化学(株)のCK4600(炭素繊維強化グレードPEEK)が、採用されました。
耐熱性の活用 耐摩耗性の活用 耐薬品性の活用 機械的強度の活用 他の物性の活用 コストメリット 軽量化の実現 長寿命化の実現 製品配慮の実現 他の効果の実現 高精度加工対応 特長ある加工対応 素材情報 その他