全芳香族ポリイミドMELDIN（メルディン）の採用事例をご紹介：耐熱性の活用
全芳香族ポリイミドMELDIN（メルディン） Aromatic Poly Imid（MELDIN(R)メルディン(R)はサンゴバン株式会社の登録商標です）
リング
- 2006/08/29
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エッチャーのクランプリングにポリイミド樹脂メルディン採用
半導体製造のドライエッチャーのクランプリングに、サンゴバン（株）のポリイミド樹脂MELDIN（メルディン）が採用されています。
- 2006/07/20
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エッチャー部品に、ポリイミド樹脂メルディン採用
半導体向けエッチャーのチャンバー内で使用する部品に、サンゴバン（株）のポリイミド樹脂MELDIN（メルディン）が採用されました。採用に至った従来品との比較試験結果も掲載しています。
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