ウエハー搬送工程で使用する装置のスペーサー部品に、帝人化成(株)の耐摩耗性に優れるPBN樹脂(ポリブチレンナフタレート)が採用されました。
ウエハーのガイドに、帝人化成(株)の耐摩耗性樹脂 PBN(ポリブチレンナフタレート)が評価採用されました。
半導体前工程で使用するワークのガイドに、帝人化成)のPBN(ポリブチレンナフタレート)が採用されました。
半導体後工程のICを固定する部品に、帝人化成(株)のPBN(ポリブチレンナフタレート)が採用されました。
シリコンウエハーのカセットに採用されています。