サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン(MELDIN)が、処理工程でのパレットに採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、露光装置関連の保持部品に、評価テスト用として採用されました。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディンが、後工程のパッケージ搬送用パレットに採用されました。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン(MELDIN)が、ウエハの搬送部品に、PTFE樹脂の代替えに採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ウエハーテスト時に使用される部品(カラー)に採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ホルダーの洗浄用プレートの部品に採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、半導体製造工程で使用されるポンプの軸受けに採用されました。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン7021(グラファイト入)が、他のポリイミド樹脂の吸着コレットの代替として、評価をおこなっていただいています。
金属製からPEEK樹脂に材質変更し、評価が行われていましたウエハーの吸着チャックが、本採用となりました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ステンレス製ピンの代替えとしに採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ウエハの吸着チャックに、採用され、現在評価が進んでいます。
サンゴバン(株)のポリイミド MELDIN(メルディン)が、メッキ処理工程でのウエハーの支持ピンに採用されました。
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