サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン(MELDIN)が、スパッタ装置で使用される位置決めピンに採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ホルダーの洗浄用プレートの部品に採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、半導体製造工程で使用されるポンプの軸受けに採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、ウエハーの洗浄治具に、耐摩耗性の点で採用されました。
ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、エッチング装置で使用する石英ガラス部品の位置決め用の部品に評価採用されました。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報