PEEK（ピーク）の採用事例をご紹介：耐熱性の活用
PEEK ポリエーテル・エーテル・ケトン Poly Ether Ether Ketone（PEEK/ピークはVictrex plc.の商標です）
金属溶出減
- 2008/04/14
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吸着部品に、PEEK樹脂（ピーク）採用
試験用スピンコーターのウエハーと接触する吸着部品に、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が、テスト用部品として採用されました。
- 2007/05/23
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ノズルにPEEK樹脂採用
高圧で使用するノズルに、金属の代替えで、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が評価採用されました。
- 2007/03/20
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CMP用部品に、PEEK樹脂採用
CMP装置で使用される研磨パッド関連の部品に、ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が採用されました。
- 2005/08/30
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洗浄装置のノズルにPEEK （ピ－ク）絞り加工が採用
半導体洗浄装置のノズルにPEEK450Gの絞り加工が採用されました。
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耐熱性の活用 耐摩耗性の活用 耐薬品性の活用 機械的強度の活用 他の物性の活用 コストメリット 軽量化の実現 長寿命化の実現 製品配慮の実現 他の効果の実現 高精度加工対応 特長ある加工対応 素材情報 その他
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