半導体業界での提案事例
CVD
- 2007/08/10
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ポリイミド樹脂メルディンが、位置決め部品に採用
サンゴバン（株）のポリイミド樹脂メルディン（MELDIN）が、CVD装置に位置決め部品に、評価採用されました。
- 2007/02/06
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CVD装置にポリイミド樹脂メルディン採用
サンゴバン（株）のポリイミド樹脂メルディン（MELDIN）が、CVD装置のスロットバルブの軸受に正式採用されました。
- 2006/12/06
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PEEK樹脂が、CVD装置の部品に採用
ビクトレックス社のPEEK（ピーク）樹脂が、CVD装置の部品に代替えで採用されました。
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エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報
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